Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.653-654
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
Study on the focusing characteristics of the electrostatic lens for the finishing process using AC plasma
AC 플라즈마를 이용한 피니싱 공정용 전기장렌즈의 집속특성에 관한 연구
- Choi, M.S. ;
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Jang, D.Y.
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- Chung, B.H. ;
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Park, M.J.
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Kim, S.J.
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- Kim, D.U. ;
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Noh, S.J.
- 최민식 (단국대학교 응용물리학과) ;
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장동영
(서울과기대학교 산업정보시스템공학과)
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- 정보현 (한국전자기계융합기술원) ;
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박만진
(한국전자기계융합기술원)
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김승재
(한국전자기계융합기술원)
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- 김동욱 (한국전자기계융합기술원) ;
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노승정
(단국대학교 응용물리학과)
- Published : 2012.05.30
Abstract
Keywords