고밀도 전자빔 피니싱을 위한 전자빔 집속 실험

Experiment for Electron Beam Condenser of Finishing Instrument

  • 임선종 (한국기계연구원, 첨단생산장비연구본부, 광응용기계연구실) ;
  • 최지연 (한국기계연구원, 첨단생산장비연구본부, 광응용기계연구실)
  • 발행 : 2012.05.30