Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.613-614
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
Technical Development for Ultra-Precision Position Control Considering Micro Vibration Control
미세진동제어를 고려한 초정밀 위치 결정 기술 개발
- Published : 2012.05.30