Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.613-614
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Technical Development for Ultra-Precision Position Control Considering Micro Vibration Control

미세진동제어를 고려한 초정밀 위치 결정 기술 개발

김철호 (한국생산기술연구원) ;
강성복 (한국생산기술연구원) ;
윤주성 (한국생산기술연구원) ;
정안목 (한국생산기술연구원)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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