한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

대면적 미세가공을 위한 고주파 Fast Tool Servo 개발

High Frequency Fast Tool Servo Developed for Large Area Micro Feature Machining

  • 여굉 (한국대 나노융합기술학과) ;
  • 이승준 (부산대 천단정밀공학과) ;
  • 이상민 (한국대 나노융합기술학과) ;
  • 하양협 (부산대 정밀기계공학과) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원) ;
  • 이득우 (부산대 나노메카트로닉스공학과)
  • 발행 : 2012.05.30
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