Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.511-512
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Evaluation of Linearity switch type MEMS pressure sensor

선형성을 갖는 스위치타입 MEMS압력센서 제작 및 평가

정윤진 (전남대학교 대학원 기계공학과) ;
박종성 (전남대학교 기계시스템공학부) ;
박중호 (한국기계연구원) ;
한윤종 ((주)JCA몬트롤) ;
이동원 (전남대학교 기계시스템공학부)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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