한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.483-484
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
반도체 알루미늄 라인 사이의 AlN 영향
AlN impact between aluminum line of semiconductor
- 권성우 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
- 배종용 (삼성전자) ;
- 구경모 (삼성전자) ;
- 최진희 (삼성전자) ;
- 김일홍 (삼성전자) ;
- 한태영 (삼성전자) ;
- 홍광표 (삼성전자) ;
- 강민호 (삼성전자) ;
- 김형준 (삼성전자공과대학교 반도체공학과)
- Kwon, S.W. ;
- Bae, J.Y. ;
- Koo, K.M. ;
- Choi, J.H. ;
- Kim, I.H. ;
- Han, T.Y. ;
- Hong, K.P. ;
- Kang, M.H. ;
- Kim, H.J.
- 발행 : 2012.05.30