한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.459-460
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2012
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

반도체 공정중 ILD HDP 공정 safety idle 조건개선으로 정체에 의한 불량 개선 연구

A study on the improvement of defective products with changing conditions of safety idle in ILD HDP processes

윤성훈 (삼성전자 공과대학교 반도체공학과) ;
김충환 (삼성전자(주)) ;
김형준 (삼성전자(주)) ;
김정태 (삼성전자(주)) ;
김은성 (삼성전자(주))

발행 : 2012.05.30

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