공기정압 저널 베어링의 설계인자와 회전정밀도의 관계에 관한 연구

Parametric Investigations on Radial Error Motion for Aerostatic Bearing Table

  • 심종엽 (한국기계연구원 초정밀시스템 연구실) ;
  • 황주호 (한국기계연구원 초정밀시스템 연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀시스템 연구실)
  • 발행 : 2012.05.30