Cavity가압 공정을 이용한 표면전사특성에 의한 실험적 연구

An experimental study on characteristics of surface transcription using pressurized cavity process

  • 우상원 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 유영은 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 김선경 (서울과학기술대학교 NID 융합기술대학원) ;
  • 조성준 (엠피텍솔루션)
  • 발행 : 2012.05.30