블라스팅과 워터젯 순차가공에 의한 유리 미세유체소자 제작기술

Smooth glass micromachining for microfluidic devices using sequential process of abrasive blasting and abrasive water jet finishing

  • 손성균 (한국산업기술대학교 기계시스템설계공학과 대학원) ;
  • 김욱배 (한국산업기술대학교 기계설계공학과) ;
  • 김원우 (한국산업기술대학교 기계시스템설계공학과 대학원) ;
  • 신명호 (한국산업기술대학교 기계설계공학과)
  • 발행 : 2012.05.30