한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

반도체 기판용 폴리머 소재의 레이저 응용 Direct/Projection 패터닝 형상 특성 비교

Pattern shape comparison between direct and projection ablation of an IC substrate polymer

  • 손현기 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 최한섭 ((주)큐엠씨 연구소) ;
  • 박종식 ((주)리스광시스템 응용광학설계팀)
  • 발행 : 2012.05.30
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