Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.103-104
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Comparative Study on the Electrical Characterization of Top-down Fabricated Silicon Nanowire ISFET

Top-down 방식으로 제작한 실리콘 나노와이어 ISFET의 전기적 특성 비교

김성만 (서울테크노파크 MSP 기술지원센터) ;
조영학 (서울테크노파크 MSP 기술지원센터) ;
이준형 (서울테크노파크 MSP 기술지원센터) ;
노지형 (전자부품연구원 차세대융합센서연구센터) ;
이대성 (전자부품연구원 차세대융합센서연구센터)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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