압전소자의 형상에 따른 메가소닉 특성 분석

Analysis of Megasonic Characteristics according to the Shapes of Piezoceramic

  • 이양래 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 김현세 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 윤소남 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 임의수 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부)
  • 발행 : 2012.10.24