Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.10a
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- Pages.595-596
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
Fabrication and interfacial analysis of metallic nano-grooves using FIB and NPDS
집속이온빔과 나노입자적층시스템을 사용한 금속나노홈의 제작과 계면분석
- Kim, C.S. ;
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Ahn, S.H.
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- Choi, J.O. ;
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Lee, G.Y.
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- Yoon, H.S. ;
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Lee, H.T.
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- Park, J.I. ;
- Lee, Ji-Seong ;
- Jang, Dong-Yeong
- 김충수 (서울대학교 기계항공공학부) ;
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안성훈
(서울대학교 기계항공공학부)
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- 최정오 (서울대학교 기계항공공학부) ;
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이길용
(서울대학교 기계항공공학부)
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- 윤해성 (서울대학교 기계항공공학부) ;
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이현택
(서울대학교 기계항공공학부)
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- 박재일 (서울대학교 기계항공공학부) ;
- 이지성 (서울과학기술대학교 NID 융합기술대학원) ;
- 장동영 (서울과학기술대학교 산업정보시스템 공학과)
- Published : 2012.10.24