Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.10a
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- Pages.591-592
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
A study on properties of YSZ thin films deposited by PLD, ALD and sputter
PLD, ALD, Sputter로 증착한 YSZ 박막의 특성 비교
- Paek, J.Y. ;
- Cha, S.W. ;
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Chang, I.W.
;
- Park, J.H. ;
- Ji, S.H.
- 백준열 (서울대학교 기계항공공학부) ;
- 차석원 (서울대학교 기계항공공학부) ;
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장익황
(서울대학교 지능형융합시스템학과)
;
- 박준호 (서울대학교 기계항공공학부) ;
- 지상훈 (서울대학교 지능형융합시스템학과)
- Published : 2012.10.24