Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.531-532
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Laser auto focus of white light scanning interferometer for inspection of LCD process

LCD 공정 검사용 백색광 간섭계의 레이져 자동 초점

심재환 (선문대학교 정보통신공학과) ;
고국원 (선문대학교 정보통신공학과) ;
고경철 (선문대학교 정보통신공학과)

Published : 2012.10.24

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