Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2012.10a
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  • Pages.503-504
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  • 2012
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

6 Degrees-Of-Freedom Dynamic Models for LM-Guide Stages

LM가이드 스테이지의 운동해석을 위한 6자유도 운동모델

  • 김병섭 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 이성철 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 노승국 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실)
  • Published : 2012.10.24
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