슬라이드 가이드 스테이지의 다자유도 운동 오차 해석

Analysis of Multi-DOF Motion Errors in Slide Guide Stage

  • 김규하 (광주과학기술원 기전공학부) ;
  • 이선규 (광주과학기술원 기전공학부)
  • 발행 : 2012.10.24