Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.361-362
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Projection ablation of an IC substrate material using a nanosecond UV laser

나노초 UV 레이저 응용 반도체 기판 소재의 projection ablation 가공

손현기 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
최한섭 ((주)큐엠씨 연구소) ;
박종식 ((주)리스광시스템 응용광학설계팀)

Published : 2012.10.24

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