한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
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Pages.317-318
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2012
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

실리콘 기반의 aN 캔틸레버 개발

Developement of atomic scale sensitivity cantilever using Silicon

김대연 (전남대학교 기계시스템공학과) ;
박종성 (전남대학교 기계시스템공학과) ;
이동원 (전남대학교 기계시스템공학과)

발행 : 2012.10.24

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