Adaptive control of the precise two axes stage using piezoelectric actuator

압전소자를 이용한 2축 정밀 스테이지의 적응제어

  • 박흥석 (금오공과대학교 기전공학과) ;
  • 김영식 (금오공과대학교 기전공학과) ;
  • 김인수 (금오공과대학교 기전공학과) ;
  • 김기범 (금오공과대학교 기전공학과) ;
  • 김준식 (금오공과대학교 지능기계공학과)
  • Published : 2012.10.24