Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2012.10a
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  • Pages.159-160
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  • 2012
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A design of Ion-miller for improving the ecciciency of ion extraction

다면 가공용 이온 밀링 장치에서 인출 효율 증대를 위한 건 구조 개선

  • 원종한 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
  • 박만진 (한국전자기계융합기술원) ;
  • 강원구 (한국전자기계융합기술원) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 MSDE 프로그램)
  • Published : 2012.10.24
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Abstract

Keywords

Acknowledgement

Grant : 정밀 기계 가공용 고밀도 전자 빔의 고속 청정 Finishing 공정기술개발

Supported by : 지식경제부