Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference (한국멀티미디어학회:학술대회논문집)

Korea Multimedia Society (한국멀티미디어학회)
권호 표지

Wafer Position Recognition Based on Generalized Symmetry Transform

일반화 대칭 변환 기반의 웨이퍼 위치 인식

  • Jun, Mi-Jin (Dept. of Game Mobile Contents, Keimyung University) ;
  • Kang, Su-Myung (Dept. of Game Mobile Contents, Keimyung University) ;
  • Lee, Joon-Jae (Dept. of Game Mobile Contents, Keimyung University)
  • 전미진 (계명대학교 게임모바일콘텐츠학과) ;
  • 강수명 (계명대학교 게임모바일콘텐츠학과) ;
  • 이준재 (계명대학교 게임모바일콘텐츠학과)
  • Published : 2012.05.18
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Abstract

본 논문에서는 반도체 생산 공정 중 클리닝 공정 과정에서 웨이퍼가 정확한 위치에 장착되었는지를 판단하기 위하여 투영 변환을 이용하여 원형 모양 웨이퍼로 복원하고 에지를 추출한 후 일반화 대칭 변환(Generalized Symmetry Transform, GST) 방법을 적용하여 웨이퍼의 윤곽을 검출하여 위치를 검사하는 방법을 제안한다.

Keywords