한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.399-399
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- 2012
열 화학기상증착법을 이용한 BCN 나노시트의 합성과 전기적 특성 분석
- 전승한 (나노튜브 및 나노복합구조 연구센터, BK21 물리연구단, 성균관대학교) ;
- 차명준 (나노튜브 및 나노복합구조 연구센터, BK21 물리연구단, 성균관대학교) ;
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송우석
(나노튜브 및 나노복합구조 연구센터, BK21 물리연구단, 성균관대학교) ;
- 김성환 (나노튜브 및 나노복합구조 연구센터, BK21 물리연구단, 성균관대학교) ;
- 전철호 (나노튜브 및 나노복합구조 연구센터, BK21 물리연구단, 성균관대학교) ;
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박종윤
(나노튜브 및 나노복합구조 연구센터, BK21 물리연구단, 성균관대학교)
- Jeon, Seung-Han ;
- Cha, Myeong-Jun ;
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Song, U-Seok
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- Kim, Seong-Hwan ;
- Jeon, Cheol-Ho ;
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Park, Jong-Yun
- 발행 : 2012.08.20
초록
최근 그래핀 연구와 더불어 2차원 구조의 나노소재에 대한 관심이 급증하면서 육각형의 질화붕소(hexagonal boron nitride; h-BN) 나노시트(nanosheet)[1]나 붕소 탄화질화물(boron caronitride;BCN) 나노시트[2, 3]와 같은 2차원 구조체에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그 중 BCN은 반금속(semimetal)인 흑연(graphite)과 절연체인 h-BN이 결합된 나노시트로 원소의 구성 비율에 따라 전기적 특성을 제어할 수 있다는 장점이 있다. 따라서 다양한 나노소자로의 응용을 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 열 화학기상증착법(thermal chemical vapor deposition)을 이용하여 폴리스틸렌(polystyrene)과 보레인 암모니아(borane ammonia)를 사용하여 BCN 나노시트를 합성하였다. 합성된 BCN 나노시트의 구조적 특징과 화학적 조성 및 결합 상태를 주사전자현미경(scanning electron microscopy), 투과전자현미경(transmission electron microscopy), X-선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy), 라만 분광법(Raman spectroscopy)을 통해 조사하였고, 이온성 용액법 (ionic liquid)[4]을 이용하여 전계효과 특성을 측정하였다.