한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.291-292
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- 2012
게이트 유전체용 $HfO_2$ 박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구
- 김주영 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
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김수인
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
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이규영
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 권구은 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김민석 (서울과학고등학교) ;
- 엄승현 (서울과학고등학교) ;
- 정현진 (서울과학고등학교) ;
- 조용석 (서울과학고등학교) ;
- 박승호 (서울과학고등학교) ;
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이창우
(국민대학교 나노전자물리학과)
- Kim, Ju-Yeong ;
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Kim, Su-In
;
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Lee, Gyu-Yeong
;
- Gwon, Gu-Eun ;
- Kim, Min-Seok ;
- Eom, Seung-Hyeon ;
- Jeong, Hyeon-Jin ;
- Jo, Yong-Seok ;
- Park, Seung-Ho ;
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Lee, Chang-U
- 발행 : 2012.08.20
초록
MOSFET 구조에서 metal oxide에 기반을 둔 게이트 유전체의 연구는 실리콘(Si)을 기반으로 한 반도체 발명이래로 가장 인상적인 발전을 이뤄 왔다. 이는 metal oxide의 높은 유전상수 특성이