한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
- /
- Pages.238-238
- /
- 2012
UV 처리에 의한 T-OLED용 산화전극에 적합한 Ag 박막 연구: Nano-Mechanical 특성 분석을 중심으로
-
이규영
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
-
김수인
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김주영 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 권구은 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 강용욱 (경기과학고등학교) ;
- 손지원 (경기과학고등학교) ;
- 전진웅 (경기과학고등학교) ;
- 김민철 (경기과학고등학교) ;
-
이창우
(국민대학교 나노전자물리학과)
-
Lee, Gyu-Yeong
;
-
Kim, Su-In
;
- Kim, Ju-Yeong ;
- Gwon, Gu-Eun ;
- Gang, Yong-Uk ;
- Son, Ji-Won ;
- Jeon, Jin-Ung ;
- Kim, Min-Cheol ;
-
Lee, Chang-U
- 발행 : 2012.08.20
초록
Ag (silver)의 일함수는 T-OLED (Top Emission Organic Light Emitting Diode)의 전극소자로 사용하기에는 다소 낮다는 단점이 있다(~4.3 eV). 이러한 단점을 해결하기 위한 대안으로 Ag 박막의 표면을 플라즈마 처리, UV 처리 및 열처리를 통하여 일함수를 높이는 연구가 진행 되어왔다(>5.0 eV). 하지만 현재의 대부분 연구는 후 처리된 박막의 일함수에 초점을 맞춰 연구가 진행 되어 박막의 nano-mechanical property에 대한 연구는 매우 부족하다. 따라서 본 논문에서는 AgOx 박막의 nano-mechanical property에 초점을 맞춰 분석을 실시하였다. 연구에 사용된 샘플은 Ag 박막을 유리기판 위에 rf-magnetron sputter 장치를 이용하여 100 W의 power로 150 nm 두께로 증착하였다. 증착된 Ag 박막은