한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.204-204
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- 2012
크라이오펌프 종합성능평가 시스템 기술 개발 연구
- 강상백 ((유)우성진공 기술연구소) ;
- 노영호 ((유)우성진공 기술연구소) ;
- 유재경 ((유)우성진공 기술연구소) ;
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고득용
(한국기계연구원) ;
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박성제
(한국기계연구원) ;
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고준석
(한국기계연구원) ;
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인상렬
(한국원자력연구원)
- Gang, Sang-Baek ;
- No, Yeong-Ho ;
- Yu, Jae-Gyeong ;
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Go, Deuk-Yong
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Park, Seong-Je
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Go, Jun-Seok
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In, Sang-Ryeol
- 발행 : 2012.08.20
초록
고용량/대면적/초정밀 제품을 지향하는 개발추세에 따라 고진공 펌프중 하나인 크라이오펌프의 활용도가 크게 증가하며 첨단 공정장비인 LCD 분야 등과 같이 수소 분자와 물 분자 등의 배기가 중요한 응용분야에 크라이오펌프의 수요가 대부분을 차지하고 있다. 그러나 크라이오펌프의 운전성능에 대한 표준절차에 따른 실질적인 측정은 빈약한 편이다. 이에 크라이오펌프의 종합 성능평가 기술 개발을 통해 실질적인 크라이오펌프의 운전성능을 제시하고자 한다. 본 연구에서는 고진공 펌프중의 하나인 크라이오펌프의 종합 성능평가 표준절차 및 표준시스템에 대해 소개하며, 상용화 제품에 대한 각 회사에서 제시하고 있는 성능지표에 대해 실질적인 측정에 대한 비교분석을 하고자 한다. 또한 가장 중용한 성능지표 중의 하나인 배기속도 측정에 대해 물리적 특징과 구조적 오차에 대한 보정 식들을 제공하고자 한다.