한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.522-522
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- 2012
저온 대기압 플라즈마 방전 특성
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조이현
(광운대학교 전자물리과) ;
- 전부일 (광운대학교 전자물리과) ;
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손찬희
(광운대학교 전자물리과) ;
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윤명수
(광운대학교 전자물리과) ;
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조태훈
(광운대학교 전자물리과) ;
- 강정욱 (광운대학교 전자물리과) ;
- 김동해 (광운대학교 전자물리과) ;
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서일원
(광운대학교 전자물리과) ;
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권기청
(광운대학교 전자물리과)
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Jo, Lee-Hyeon
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- Jeon, Bu-Il ;
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Son, Chan-Hui
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Yun, Myeong-Su
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Jo, Tae-Hun
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- Gang, Jeong-Uk ;
- Kim, Dong-Hae ;
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Seo, Il-Won
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Gwon, Gi-Cheong
- 발행 : 2012.02.08
초록
저온 대기압 플라즈마 제트는 가스 flow량에 따른 방전 특성 연구는 진행이 되고있으나 저온 대기압에서 플라즈마 제트 양극사이의 간격에 따른 방전전압 특성의 연구는 아직 진행이 미비한 상황이다. 본 연구에서는 저온 대기압 플라즈마 제트로 파셴곡선의 특성을 조사 분석하여 플라즈마 방전전압의 특성을 규명하고자 한다. 방전가스는 Ar을 사용하였으며 DC-AC 인버터로 고전압을 인가하여 플라즈마 제트 장비를 구동을 하였다. 그 결과 저온 대기압 방전에서 플라즈마 제트 양극 사이의 간격이 가까울수록 방전전압의 크기가 줄어드는 것을 확인을 할 수가 있었다.