Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
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- Pages.504-504
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- 2012
Gas 별 플라즈마 제트 방전 특성
- Lee, Min-Gyeong ;
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Jeong, Jong-Yun
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Kim, Yun-Jung
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- Han, Guk-Hui ;
- Gang, Han-Rim ;
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Kim, Jung-Gil
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- Lee, Won-Yeong ;
- Kim, Hyeon-Cheol ;
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Jo, Gwang-Seop
- 이민경 (광운대학교 전자물리학과) ;
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정종윤
(광운대학교 전자물리학과) ;
-
김윤중
(광운대학교 전자물리학과) ;
- 한국희 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 강한림 (광운대학교 전자물리학과) ;
-
김중길
(광운대학교 전자물리학과) ;
- 이원영 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 김현철 (광운대학교 전자물리학과) ;
-
조광섭
(광운대학교 전자물리학과)
- Published : 2012.02.08
Abstract
Gas 종류에 따른 플라즈마 제트 장치의 방전 특성을 조사하였다. 고전압 전극으로 내경 0.26 mm, 외경 0.52 mm인 의료용 바늘을 사용하였으며 바늘을 유리관 내부에 삽입하여 4가지 gas를 주입시킨다. Gas의 종류는 Ar, He, Ne, 그리고