Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
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- Pages.379-379
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- 2012
Pulsed Laser Deposition 법을 이용한 ZnO 박막의 제작 및 특성 분석
- Jeong, Ui-Wan ;
- Lee, Yeong-Min ;
- Lee, Jin-Yong ;
- Lee, Cho-Eun ;
- Sim, Eun-Hui ;
- Gang, Myeong-Gi ;
- Heo, Seong-Eun ;
- Hong, Seung-Su ;
- No, Ga-Hyeon ;
- Kim, Du-Su ;
- Kim, Deuk-Yeong
- 정의완 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이영민 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이진용 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이초은 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 심은희 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 강명기 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 허성은 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 홍승수 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 노가현 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 김두수 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 김득영 (동국대학교 반도체과학과)
- Published : 2012.02.08
Abstract
본 연구에서는 고품질의 ZnO 박막을 제작하기 위해 사파이어 기판 위에 ZnO 박막을 Pulsed Laser Deposition (PLD) 법으로 성장하였다. 레이저 에너지 밀도와 펄스주파수를 고정시켰으며, 성장온도와 산소 분압은 각각