Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
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- Pages.365-365
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- 2012
Au 전극을 적용한 방사선 영상 검출기의 전기적 특성 평가
- Song, Yong-Geun ;
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O, Gyeong-Min
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Kim, Seong-Heon
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Kim, Ji-Na
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- No, Seong-Jin ;
- Heo, Seung-Uk ;
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Nam, Sang-Hui
- 송용근 (인제대학교 의용공학과) ;
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오경민
(인제대학교 의용공학과) ;
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김성헌
(인제대학교 의용공학과) ;
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김지나
(인제대학교 의료영상과학) ;
- 노성진 (인제대학교 의용공학과) ;
- 허승욱 (김해 의생명센터) ;
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남상희
(인제대학교 의용공학과)
- Published : 2012.02.08
Abstract
본 연구에서는 X-ray 영상을 얻기 위한 검출기 중 직접 검출방식에 쓰이고 있는 광도전체(Photoconductor)의 전극으로 Au를 사용하여 전기적인 특성을 파악하였다. Au는 유기물에 대한 반응이 적고 전기 전도도가 좋은 물질로서 투명전극으로 많이 쓰이고 있는 인듐 주석 산화물(ITO)을 대체할 수 있는 물질로 각광받고 있다. 우선 시편 제작을 위해 투명한 기판(Corning Glass, 0.7t)위에 하부전극으로 Au를