Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
- /
- Pages.321-322
- /
- 2012
Sputtering방식을 이용한 Indium Thin oxide박막의 넓이에 따른 X-ray 검출기 특성 연구
- Kim, Dae-Guk ;
- Sin, Jeong-Uk ;
- O, Gyeong-Min ;
- Kim, Seong-Heon ;
- Lee, Yeong-Gyu ;
- Jo, Seong-Ho ;
- Nam, Sang-Hui
- 김대국 (인제대학교 의용공학과) ;
- 신정욱 (인제대학교 의용공학과) ;
- 오경민 (인제대학교 의용공학과) ;
- 김성헌 (인제대학교 의용공학과) ;
- 이영규 (인제대학교 의용공학과) ;
- 조성호 (이화여자대학교) ;
- 남상희 (인제대학교 의용공학과)
- Published : 2012.02.08
Abstract
의료용 방사선 장비는 초기의 아날로그 방식의 필름 및 카세트에서 진보되어 현재는 디지털 방식의 DR (Digital Radiography)이 널리 사용되며 그에 관한 연구개발이 활발히 진행되고 있다. DR은 크게 간접방식과 직접방식의 두 분류로 나눌 수 있는데, 간접방식은 X선을 흡수하면 가시광선으로 전환하는 형광체(Scintillator)를 사용하여 X선을 가시광선으로 전환하고, 이를 Photodiode와 같은 광소자로 전기적 신호로 변환하여 방사선을 검출하는 방식을 말하며, 직접 방식은 X선을 흡수하면 전기적 신호를 발생 시키는 광도전체(Photoconductor)를 사용하여 광도전체 양단 전극에 고전압을 인가한 형태를 취하고 있는 가운데, X선이 조사되면 일차적으로 광도전체 내부에서 전자-전공쌍(Electron-hole pair)이 생성된다. 이들은 광도전체 양단의 인가되어 있는 전기장에 의해 전자는 +극으로, 전공은 -극으로 이동하여 아래에 위치한 Active matrix array을 통해 방사선을 검출하는 방식이다. 본 연구에서는 직접방식 X-ray 검출기에서 활용되는 a-Se을 ITO (Indium Thin oxide) glass 상단에 Thermal evaporation증착을 이용하여 두께