Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
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- Pages.263-263
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- 2012
실리콘 표면 구조의 형상에 따른 반사도와 흡수율 최적화 및 표면적 증가에 관한 연구
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An, Si-Hyeon
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Park, Cheol-Min
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Park, Hyeong-Sik
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- Song, Gyu-Wan ;
- Choe, U-Jin ;
- Choe, Jae-U ;
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Jang, Gyeong-Su
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- Kim, Seon-Bo ;
- Jang, Ju-Yeon ;
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Lee, Jun-Sin
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안시현
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
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박철민
(성균관대학교 자연과학부 에너지과학과) ;
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박형식
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 송규완 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 최우진 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 최재우 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
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장경수
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 김선보 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 장주연 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
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이준신
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과)
- Published : 2012.02.08
Abstract
본 연구는 실리콘 표면에 형성된 pyramid 구조의 크기와 각도, aspect ratio에 따른 반사도, 흡수율 최적화에 관한 연구이다. Atlas device simulation을 이용하여 표면에 형성된 pyramid의 각도는