한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.236-236
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- 2012
QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술
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민관식
(한국표준과학연구원) ;
- 차덕준 (군산대학교 물리학과) ;
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윤주영
(한국표준과학연구원) ;
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강상우
(한국표준과학연구원) ;
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신용현
(한국표준과학연구원) ;
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윤석래
((주)이엘) ;
- 박원영 ((주)이엘) ;
- 이규찬 ((주)이엘) ;
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김진태
(한국표준과학연구원)
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Min, Gwan-Sik
;
- Cha, Deok-Jun ;
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Yun, Ju-Yeong
;
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Gang, Sang-U
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Sin, Yong-Hyeon
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Yun, Seok-Rae
;
- Park, Won-Yeong ;
- Lee, Gyu-Chan ;
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Kim, Jin-Tae
- 발행 : 2012.02.08
초록
QMS(Quadruple Mass Spectrometer)를 사용하여 혼합 기체의 조성비를 측정하는 기술로 He,