Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
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- Pages.80-80
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- 2012
방사광을 이용한 표면분석 기술: XPS
Abstract
본 튜토리알에서는 표면 및 물질분석 기술로 널리 사용되고 있는 X-ray 광전자분광기술(X-ray Photoelectron Spectroscopy)의 원리와 광전자분광계를 구성하는 요소, 그리고 XPS를 이용하여 시료로부터 얻어낼 수 있는 정보가 무엇인지 등에 대해서 알아본다.
Keywords