반도체 공정제어 소프트웨어를 위한 테스트 스크립트 관리 방법

Test script management method for semiconductor process control software

  • 주영민 (고려대학교 컴퓨터 전파통신공학과) ;
  • 정현준 (고려대학교 컴퓨터 전파통신공학과) ;
  • 백두권 (고려대학교 컴퓨터 전파통신공학과)
  • Joo, Young-Min (Dept. of Computer and Radio Communications Engineering, Korea University) ;
  • Jung, Hyun-Jun (Dept. of Computer and Radio Communications Engineering, Korea University) ;
  • Baik, Doo-Kwon (Dept. of Computer and Radio Communications Engineering, Korea University)
  • 발행 : 2012.06.22

초록

반도체 공정은 웨이퍼를 제작할 때 오류가 발생할 경우 웨이퍼 전체를 사용하지 못하는 손실이 발생한다. 이로 인해 반도체 공정제어 소프트웨어는 높은 품질을 요구하고 있다. 반도체 공정제어 소프트웨어를 위한 테스트의 중요성도 높아졌다. 하지만 반도체 공정제어 공정제어 소프트웨어 테스트는 대상이 되는 프로그램에 따라 테스트 스크립트의 변화가 많다. 이로 인해 테스트 스크립트 작성의 비용이 높으며, 이미 작성된 스크립트의 재사용이 어렵다. 이러한 문제를 해결하기 위해 이 논문에서는 반도체 공정제어 소프트웨어를 위한 테스트 스크립트 생성과정과 생성된 스크립트의 재사용성을 높이기 위한 색인방법을 제안한다. 제안한 스크립트 생성과정은 반도체 공정제어에서 사용하는 일반적인 테스트 과정을 기반으로 스크립트 생성의 복잡도를 줄일 수 있다. 소프트웨어에 존재하는 함수의 수정으로 인한 스크립트 재사용성 불가 문제를 해결하기 위해 함수에 대한 정보를 색인하여 기존 스크립트의 재사용성을 높인다.

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과제정보

연구 과제 주관 기관 : 정보통신산업진흥원