Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2011.08a
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- Pages.400-400
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- 2011
습식 및 건식 식각으로 표면 텍스처링된 다결정 실리콘 태양전지의 라미네이팅 공정에 대한 연구
- Kim, Dong-Hae ;
- Son, Chan-Hui ;
- Yun, Myeong-Su ;
- Gang, Jeong-Uk ;
- Jo, Tae-Hun ;
- Cha, Seong-Ho ;
- Kim, Jeong-Sik ;
- An, Jeong-Ho ;
- Kim, Tae-Heon ;
- Lee, Sang-Du ;
- Gwon, Gi-Cheong
- 김동해 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 손찬희 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 윤명수 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 강정욱 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 조태훈 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 차성호 (주성 엔지니어링) ;
- 김정식 (주성 엔지니어링) ;
- 안정호 (주성 엔지니어링) ;
- 김태헌 (주성 엔지니어링) ;
- 이상두 (주성 엔지니어링) ;
- 권기청 (광운대학교 전자물리학과)
- Published : 2011.08.17
Abstract
습식 식각과 RIE (reactive ion etching) 텍스처링 된 다결정 실리콘 태양전지의 라미네이팅 공정 전 후에 양자 효율과 광학적 특성 및 전기적 특성의 변화를 관찰 하였다. 두 식각 방법을 이용해 라미네이팅 공정 전 습식 식각의 표면 텍스처 태양전지에 비해 RIE 표면 텍스처태양전지에서 높은 양자 효율이 관측 되었지만, 라미네이팅 공정 후에 두 셀을 비교해 보면 RIE 텍스처링 된 것의 양자 효율이 더 낮아지는 것을 확인 할 수 있었다. 300~1,100 nm의 파장 범위에서 10 nm의 간격으로 양자효율, 반사율, 투과율, 흡수율 및 변환 효율을 측정하였다. 또한, 공정 전 후의 셀의 dark current를 측정하였다. 위 연구 결과를 통해 라미네이팅 공정에 따른 다결정 실리콘 태양전지의 특성 변화를 분석 하였다.