한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.271-271
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- 2011
박막내의 Stress 형태에 따른 W-N 확산방지막의 열적 안정성 연구
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이규영
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
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김수인
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김주영 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 강영은 (경기과학고등학교) ;
- 성종백 (경기과학고등학교) ;
- 이주헌 (경기과학고등학교) ;
- 조민수 (경기과학고등학교) ;
- 김대관 (경기과학고등학교) ;
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이창우
(국민대학교 나노전자물리학과)
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Lee, Gyu-Yeong
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Kim, Su-In
;
- Kim, Ju-Yeong ;
- Gang, Yeong-Eun ;
- Seong, Jong-Baek ;
- Lee, Ju-Heon ;
- Jo, Min-Su ;
- Kim, Dae-Gwan ;
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Lee, Chang-U
- 발행 : 2011.08.17
초록
본 논문에서는 W-N 확산 방지막을 각각 다른 질소 유입 조건 (0 sccm, 0.5 sccm, 1 sccm) 하에 Si (Silicon) (100) 기판 위에 rf (radio-frequency) magnetron sputter를 이용하여 증착하였다. 증착된 박막은 800