Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2011.08a
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- Pages.176-176
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- 2011
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
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Jeon, Gi-Mun
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Sin, Jae-Su
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Yun, Ju-Yeong
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Kim, Jin-Tae
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Lee, Chang-Hui
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Yeom, Ho-Yeong
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- Choe, Jeong-Hyeon ;
- Ha, Hong-Sik ;
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Gang, Sang-U
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전기문
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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신재수
(대전대학교 신소재공학과) ;
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윤주영
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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김진태
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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이창희
(혜전대학) ;
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염호영
((주)UMT) ;
- 최정현 ((주)UMT) ;
- 하홍식 ((주)UMT) ;
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강상우
(한국표준과학연구원 진공센터)
- Published : 2011.08.17
Abstract
실리콘 질화막(