한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.92-92
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- 2011
고진공펌프 종합특성평가시스템 설계, 진단기술 개발 추진 현황
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임종연
(한국표준과학연구원) ;
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인상열
(한국원자력연구원) ;
- 김완중 (한국표준과학연구원) ;
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정완섭
(한국표준과학연구원) ;
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홍승수
(한국표준과학연구원) ;
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허중식
(기계전기전자시험연구원) ;
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고득용
(한국기계연구원)
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Im, Jong-Yeon
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In, Sang-Yeol
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- Kim, Wan-Jung ;
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Jeong, Wan-Seop
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Hong, Seung-Su
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Heo, Jung-Sik
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Go, Deuk-Yong
- 발행 : 2011.08.17
초록
지식경제부의 청정제조기반 산업원천개발사업의 일환으로 진행 중인 "초고진공펌프 개발" 과제 중 제 3 세부 과제인 "고진공펌프종합특성평가시스템 설계, 진단기술 개발" 과제에서 추진된 연구결과를 소개한다. 국내 초고진공펌프 개발 수준의 선진화를 위한 기본적인 초석 확립은 현존하는 모든 진공 발생 장치의 국제적 신뢰성이 있는 완벽한 성능평가의 구현에 있다고 할 수 있다. 크라이오펌프 및 복합분자펌프의 최종 상용화 단계에 진입하기 위한 목적으로 핵심부품의 진공, 기계적 특성평가, 운전상태 및 진공특성평가, 신뢰성 확보/공정대응성 평가를 위한 관련 기술 및 장치가 개발되었으며, 시작품 단계의 기 개발품을 평가 진단하는 사업 추진단계에 진입하고 있다. 현재 구축되고 있는 저진공/고진공펌프의 성능평가장치의 개요를 소개하면서 향후 크라이오 펌프 및 터보분자펌프의 개발 및 상용화 단계에서 필요한 국제적 규격 및 내부적 가이드라인을 기 수행되고 있는 측정 데이터베이스에 근거하여 제시하고자 한다. 또한 향후 2년간의 최종 상용화에 필요한 국제 신뢰성, 공정대응성 확보 등 핵심사업 추진내용 및 infra 구축의 상세설계 로드맵 초안을 고찰하고자 한다.