Effect of Si Addition on the Friction Coefficients of CrZrN Thin Films at high temperature

Cr-Zr-N 박막의 Si 첨가에 따른 고온 마모특성에 미치는 영향에 관한 연구

  • 김범석 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 오종호 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 김재용 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 재료공학과)
  • Published : 2011.05.19

Abstract

CrZrN 박막은 CrN 박막에 비해서 향상된 기계적 특성과 우수한 표면 조도특성을 가지고 있다. 그러나 $500^{\circ}C$ 이상에서 기계적 특성이 급격히 감소하는 현상이 알려져 있다. 본 연구에서는 CrZrN 박막에 Si를 첨가하여 Si 함량에 따른 고온에서의 기계적 특성을 CrZrN 박막과 비교하였다. $500^{\circ}C$에서 마모 실험한 결과 CrZrN 박막에 비하여 소량의 Si의 첨가만으로 고온에서의 마모 특성이 향상되는 것을 확인하였다. 이것은 Si 첨가에 따라 고온에서 안정한 비정질상의 형성 영향으로 판단된다.

Keywords