Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2011.05a
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- Pages.165-166
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- 2011
Application of Conical Type Sputtering System for Uniform coating of Ti on the dimensions-Dental Prosthesis
3차원 치과 보철물 위에 Ti 균일 코팅을 위한 Conical Type Sputtering 시스템 적용
- Published : 2011.05.19
Abstract
conical type의 sputtering 시스템으로 3차원 치과 보철물 위에 균일한 Ti 박막의 증착을 시도하였으며, 증착 변수에 따른 Ti 박막의 특성을 조사하였다.
Keywords