한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

Formation of uniform etch fits on Aluminum film for high performance metal capacitor

  • 김태유 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김남정 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 최우성 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 서수정 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2011.05.19
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초록

고성능 금속 커패시터 개발을 목적으로 aluminum film에 균일한 etch fit를 형성하는 연구를 진행하였다. Etch mask로 PI를 사용하여 Aluminum film에 균일한 형태의 etch fit를 형성하였다. 균일하게 에칭 된 aluminum film들은 capacitance를 측정하여 에칭 조건에 따른 capacitance 변화를 확인하였다.

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