Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Effects of TiN/ZrN Composite Film on the Surface Characteristic of STD 61 Tool Steel

STD 61 공구강의 표면특성에 미치는 TiN/ZrN 복합코팅막 효과

  • 은상원 (한국폴리텍V대학 신소재응용과) ;
  • 정용훈 (오하이오 주립대학교 치과대학) ;
  • 최한철 (조선대학교 치과대학 치과재료학교실)
  • Published : 2011.05.19
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Abstract

본 연구에서는 TiN/ZrN 복합층을 STD 61 공구강 표면에 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 방법을 이용하여, 표면온도, 스퍼터링 파워, 시간, 버퍼층의 두께에 따른 변수를 두어 실험하였다. 표면 특성을 알아보기 위해 OM, FE-SEM, AFM, EDS, XRD, XRR 그리고, 긋기 및 나노경도 시험을 시행하였다.

Keywords