한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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- Pages.93-94
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- 2011
신경망과 웨이브렛을 이용한 플라즈마 식각공정 모델링
Modeling of plasma etch process usuing neural network and wavelet
- 발행 : 2011.05.19