Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Formation mechanism of SiOCH thin films by PECVD method

PECVD법에 의해 제작한 SiOCH 박막의 형성 메카니즘

  • 윤용섭 (한국해양대학교 기관시스템공학부) ;
  • 이명훈 (한국해양대학교 기관공학부) ;
  • Published : 2011.05.19
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Abstract

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