대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2011년도 제42회 하계학술대회
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- Pages.1704-1705
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- 2011
Polyimide Film을 이용한 일체형 탐침 패드의 제작
Fabrication of Single Body Probe Pad using Polyimide Film
- Oh, Min-Sup (SoonChunHyang University) ;
- Kim, Chang-Kyo (SoonChunHyang University) ;
- Lee, Jae-Hong (NST Co. LTD.)
- 발행 : 2011.07.20
초록
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술과 니켈 전기도금공정을 이용하여 수십 내지 수백개의 탐침을 갖는 일체형 탐침 패드(Probe Pad)를 제작하였다. PI(Polyimide) Film은 일본 UBE사의
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