Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

A Study on the Characteristics of Inductively Coupled Plasma Using Simple RF Compensated Langmuir Probe

간단한 RF 보상 정전탐침법을 이용한 유도결합형 플라즈마 특성 연구

  • Kim, Yun-Gi (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Wi, Sung-Suk (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Kim, Tae-Hwan (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Kim, Dong-Hyun (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Hae-June (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Ho-Jun (Department of Electrical Engineering, Pusan National University)
  • 김윤기 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 위성석 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 김태환 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 김동현 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이해준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이호준 (부산대학교 전자전기공학과)
  • Published : 2011.07.20
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Abstract

플라즈마 변수를 측정하기 위한 가장 일반적인 방법은 정전탐침(Langmuir Probe)을 이용하는 것이다. 정전탐침은 RF 플라즈마 내에 삽입될 경우 탐침의 전위가 플라즈마 전위에 의해 진동하여 탐침전류의 왜곡이 발생하여 정확한 플라즈마 변수 측정이 어렵다. 탐침 전위의 변동을 최소화하기 위해 임피던스가 큰 인덕터를 탐침 회로 내에 삽입한다. 본 연구에서는 자기 공명 주파수가 13.56MHz 근방의 인덕터 3종류를 선정하여 간단한 RF 보상 정전탐침을 제작하여 유도결합형 플라즈마의 특성을 측정하였다. RF 보상 정전탐침에 의해 구해진 플라즈마의 전자 온도 및 플라즈마 전위는 감소하며, 플라즈마의 전자 밀도는 증가함을 알 수 있었다.

Keywords