Properties of dielectric-barrier atmospheric pressure plasma driven by DC pulse voltage

DC Pulse 전압을 이용한 DBD 대기압 플라즈마의 특성 분석

  • Lee, Jong-Bong (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Ha, Chang-Seung (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Kim, Dong-Hyun (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Ho-Jun (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Hae-June (Department of Electrical Engineering, Pusan National University)
  • 이종봉 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 하창승 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 김동현 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이호준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이해준 (부산대학교 전자전기공학과)
  • Published : 2011.07.20

Abstract

본 연구에서는 대기압 하에서 평판형의 금속전극 양단에 펄스전압을 인가하여 대기압/저온 마이크로 플라즈마를 지속적으로 발생시키는 방법을 제안하고 구동전원 특성 및 플라즈마의 전기, 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. 또한 Comsol 프로그램을 사용하여 이론적 해석을 하였으며, OES(Optical Emission Spectrometer)를 사용하여 측정 및 분석을 하였다.

Keywords